Система со сфокусированным ионным пучком
Система со сфокусированным ионным пучком
В современной технологии исследования и обработки материалов все большее внимание уделяется квантовым методам, предполагающей использование для целей модификации, резки или формирования поверхностей заданного рельефа управляемых пучков частиц. В настоящее время наибольшую популярность получили методы основанные на использовании сфокусированных потоков ионов.Чаще всего для этой цели используются ионы галлия, которые будучи сфокусированными в тонкий пучок, в ряде случаев позволяют, помимо модификации поверхности, еще и визуализировать наноразмерную морфологию даже лучше, чем традиционная электронная микроскопия.
Совмещение в одном приборе как ионного, так и электронного источников делают этот прибор универсальным исследовательским и технологическим инструментом, хотя и имеющим намного более высокую стоимость, чем обычный растровый электронный или ионный микроскоп.
Таким образом, сфокусированные пучки ионов в настоящее время используются для:
- визуализации наноразмерных поверхностей
- ионной резки, с целью исследования внутренней структуры образца, исследовании внутренних дефектов
- высокоточная ионная обработка, включая ионную полировку, при изготовлении деталей микромеханизмов, оптики высших классов точности (точности долей длины волны), в микро- и наноэлектронике и др.
- для изготовления элементов различных прецизионных систем с заданной микро- и нанотопографией рельефа по-верхности
- для пробоподготовки в просвечивающей электронной микроскопии атомного разрешения
