Распылительная система пакетного типа
Материал из Machinepedia
(Различия между версиями)
Redaktor (обсуждение | вклад) (Новая страница: «right ==Распылительная система пакетного типа== *Распылительные системы …») |
Redaktor (обсуждение | вклад) |
||
Строка 9: | Строка 9: | ||
*Установки предназначены для напыления, как проводящих, так и изоляционных покрытий – пленок | *Установки предназначены для напыления, как проводящих, так и изоляционных покрытий – пленок | ||
*Рбочее давление 6,5*10-5Па. | *Рбочее давление 6,5*10-5Па. | ||
+ | [[Category:Научное оборудование]] |
Версия 14:36, 23 апреля 2013
Распылительная система пакетного типа
- Распылительные системы вертикального типа, предназначенные для штучного и крупно-серийного производства.
- Системы карусельного типа, что позволяет производить загрузку большого количества подложек.Установки идеально подходят под задачи серийного производства для широкого ряда подложек, от 200-400 мм
- Система разработанная специально для напыления Ni.Её отличает компактный дизайн, полностью автоматизированный рабочий процесс, и высокая пропускная способность
- Установки предназначены для напыления, как проводящих, так и изоляционных покрытий – пленок
- Рбочее давление 6,5*10-5Па.