Распылительная система пакетного типа
Материал из Machinepedia
Распылительная система пакетного типа
- Распылительные системы вертикального типа, предназначенные для штучного и крупно-серийного производства.
- Системы карусельного типа, что позволяет производить загрузку большого количества подложек.Установки идеально подходят под задачи серийного производства для широкого ряда подложек, от 200-400 мм
- Система разработанная специально для напыления Ni.Её отличает компактный дизайн, полностью автоматизированный рабочий процесс, и высокая пропускная способность
- Установки предназначены для напыления, как проводящих, так и изоляционных покрытий – пленок
- Рбочее давление 6,5*10-5Па.
