Многокамерная система распыления
Материал из Machinepedia
Многокамерная система распыления
Система для напыления конденсацией из паровой (газовой) фазы, в частности для напыления TMR (tunneling magneto-resistive) многослойных покрытий и магнитных экранов.Система поддерживает многокамерную конфигурацию и позволяет работать как в области исследований и разработки так и серийном производстве.
Характеристики
- Поддержка сверхвысокого вакуума.
- Оснащена специальным катодом для производства MRAM памяти.
- Превосходный контроль и воспроизводимость при получении пленок толщиной 10 нм и менее.
- Высокая коэрцитивная сила и магнитная анизотропия.
- В комплектацию системы входят 4 камеры напыления, 1 камера предварительной чистки, 1 камера для загрузки образцов, 1 камера доставки и 1 камера для окисления.
- Установка предназначена. как для исследовательских целей, так и для создания серийного производства.
- Основные направления: MRAM, TMR, магнитных экранов.