Многокамерная система распыления

Многокамерная система распыления

Система для напыления конденсацией из паровой (газовой) фазы, в частности для напыления TMR (tunneling magneto-resistive) многослойных покрытий и магнитных экранов.Система поддерживает многокамерную конфигурацию и позволяет работать как в области исследований и разработки так и серийном производстве.

Характеристики

• Поддержка сверхвысокого вакуума.
• Оснащена специальным катодом для производства MRAM памяти.
• Превосходный контроль и воспроизводимость при получении пленок толщиной 10 нм и менее.
• Высокая коэрцитивная сила и магнитная анизотропия.
• В комплектацию системы входят 4 камеры напыления, 1 камера предварительной чистки, 1 камера для загрузки образцов, 1 камера доставки и 1 камера для окисления.
• Установка предназначена. как для исследовательских целей, так и для создания серийного производства.
• Основные направления: MRAM, TMR, магнитных экранов.