Вторично-электронный умножитель

Вторично-электронный умножитель (ВЭУ) — электронный умножитель, электронное устройство для усиления (умножения) потока электронов на основе вторичной электронной эмиссии.

Основные сведения

ВЭУ либо входит в состав некоторых электровакуумных приборов (фотоэлектронного умножителя, электронно-оптического преобразователя, ряда передающих электронно-лучевых приборов — диссекторов, суперортиконов и др., а также приемно-усилительных ламп), либо представляет собой самостоятельный электровакуумный прибор, служащий для непосредственной регистрации электромагнитного излучения или частиц.

Такие приемники, выполняемые без оболочки или имеющие незащищенное (открытое) входное окно, называются ВЭУ открытого типа. Их используют в установках, работающих в условиях естественного вакуума (при космических исследованиях), и в высоковакуумных измерительных устройствах (сканирующих электронных микроскопах, масс-спектрометрах и др.) при давлениях обычно не более 10−3 Па.

Специфическое требование, предъявляемое к ВЭУ открытого типа, — способность сохранять рабочие параметры при соприкосновении его эмитирующих поверхностей с воздухом. Этому способствуют защитные свойства тонкой (2,5-5нм) оксидной эмиссионной пленки (Al2O3, BeO) на алюминии или сплаве CuBe.