Распылительная система кластерного типа
Материал из Machinepedia
Распылительная система кластерного типа
- Распылительные системы кластерного типа для исследований, разработки и производства.Серия специально разработана для напыления металлических и диэлектрических покрытий.
- Система разработана для решения широкого круга задач.Благодаря возможности подключения до 3-х рабочих камер , серия легко справляется даже с крупносерийным производством
- Максимальный поддерживаемый диаметр подложек 200 мм
- Установки легко справляются и с исследовательскими задачами
- Системы оснащены механизмом подогрева подложек до 300оС (при необходимости возможна установка более мощного нагревательного элемента)
- Рабочие камеры предусматривают режим одновременного напыления различных элементов.
- Все установки серии оборудованы камерой для предварительной загрузки образцов и механизмом их доставки в рабочие камеры.
