Прибор для исследования поверхности
Прибор для исследования поверхности
Исследование поверхности материалов является актуальной задачей в различных областях науки и промышленности.Целью таких исследований обычно является по возможности наиболее полное изучение структуры и состава тонкого (до 1 мкм) приповерхностного слоя образца. Состав и структура приповерхностного слоя говорят не только о свойствах самого образца, но и об особенности среды, вызвавшей те или иные изменения поверхности.
Приборы для анализа поверхности обычно оснащаются специальными устройствами, которые позволяют осуществлять модификацию поверхности, в том числе травление, чистку, напыление и т.п.Благодаря функции травления появляется возможность изучать образца послойно, строя профиль распределения тех или иных свойств по глубине.
Среди этих приборов, конечно же, наибольшую популярность получили приборы на основе электронной оптики:
- растровые электронные микроскопы с приставками для микроанализа
- просвечивающие электронные микроскопы (в режиме исследования поверхности)
- двухлучевые системы на базе растровых электронных микроскопов
- электронно-зондовые микроанализаторы
- Оже-микроанализаторы