Многокамерная система металлизации

Многокамерная система металлизации

Система предназначена для металлизации пластин диаметром до 300 мм.Система занимает значительно меньше места, чем обычные установки для металлизации, и была разработана с учетом низкой стоимости и производства более миниатюризованных и высокопроизводительных устройств, в частности для 32 нм технологии.

• Новейшая разработка на базе флагманской серии созданная для достижения высоких показателей производительности.
• В системе может быть подключено до 8-ми рабочих камер (PVD, ALD, CVD, etc.) и 2 камеры (обезгаживание, охлаждение).
• Механическая пропускная способность 100 пластин/час или более используя новую систему подачи образцов ULVAC.
• Разработан под концепцию мини-фабрики и модель для крупносерийного производства, с возможностью гибкой комплектации под нужды заказчика.
• Может быть оснащена системой с монитором и системой контроля условий работы, бесконтактной системой контроля толщины пленки.