ЛАЗЕРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
ЛАЗЕРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
Лазеры нашли широкое использование, и в частности применяются в промышленности для различных типов обработки материалов: металлов, бетона, стекла, тканей, кожи и т. п.
Лазерные технологические процессы можно условно поделить на два вида. Первый из них берет за основу возможность чрезвычайно тонкой фокусировки лазерного луча и точной подачи энергии, как в импульсном, так и в непрерывном режиме. Во время подобных технологических операциях используются лазеры сравнительно небольшой средней мощности: газовые лазеры импульсно-периодического действия, лазеры на кристаллах иттрий-алюминиевого граната с частью неодима. Благодаря последним стала возможным разработка технологий сверления тонких отверстий (диаметром 1 —10 мкм и глубиной до 10—100 мкм) в рубиновых и алмазных камнях для часовой промышленности и технология изготовления фильеров для протяжки тонкой проволоки. Основная область использования маломощных импульсных лазеров связана с резкой и сваркой миниатюрных деталей в микроэлектронике и электровакуумной промышленности, с маркировкой миниатюрных деталей, автоматическим выжиганием цифр, букв, изображений для нужд полиграфической промышленности.
В последние годы в одной из важнейших сфер микроэлектроники — фотолитографии, без использования которой практически невозможно создание сверхминиатюрных печатных плат, интегральных схем и других элементов микроэлектронной техники, традиционные источники света заменяются на лазерные. С помощью лазера на Хе CL (^.=308 нм) можно получить разрешение в фотолитографической технике до 0,15—0,2 мкм.
Дальнейший прогресс в субмикронной литографии связан с использованием в роли экспонирующего источника света мягкого рентгеновского излучения из плазмы, генерируемого лазерным лучом. В этом случае предел разрешения, определяемый длиной волны рентгеновского излучения (л,«0,01—0,001 мкм), является просто фантастическим.
Мощная лазерная технология нашла свое применение в машиностроении, автомобильной промышленности, промышленности строительных материалов. Она дает возможность не только увеличить качество обработки материалов, но и повысить технико-экономические характеристики производственных процессов. Так, скорость лазерной сварки стальных листов толщиной 14 мкм достигает 100 м/ч при расходе электроэнергии 10 кВт • ч.
С развитием все более мощной лазерной техники энергия лазерного излучения стала все шире применяться в народном хозяйстве наряду с другими видами энергии (энергией электрического тока, механической энергией, энергией химических процессов
