Интерферометр Физо
Интерферометр Физо
Интерферометр Физо — это простейший двухлучевой интерферометр, который главным образом применяется для контроля точности изготовления поверхностей оптических деталей и оптических систем.Интерферометр Физо часто относится к интерферометрам с общим ходом пучков, так как до эталонной (полупрозрачной) поверхности пучки имеют общий ход.
В СССР промышленно выпускались интерферометры Физо для контроля плоских поверхностей: ИИП-15, ИТ-40, ИТ-70 ИТ-100, ИТ-200; а для контроля выпуклых поверхностей КЮ-153, КЮ-210, КЮ-211, а также универсальный интерферометр ИКД-110, который позволяет контролировать как плоские, так и вогнутые и выпуклые поверхности.В настоящее время в России выпускается интерферометр "ФТИ-100", оборудованный фазово-сдвиговой системой регистрации интерферограмм, а также интерферометр, предназначенный для контроля плоских поверхностей М200 .
Если эталонная и контролируемая поверхность покрыты зеркальным слоем с коэффициентом отражения около 80 — 90 %, то вместо двухлучевой интерференционной картины получается многолучевая интерференционная картина высокой контрастности.
Схема интерферометра
Пучок лучей, который выходит из источника когерентного излучения, фокусируется микрообъективом и преобразуется в расходящийся, который после прохождения светоделителя преобразуется коллимирующим объективом в параллельный пучок.В фокусе микрообъектива часто устанавливается точечная диафрагма, которая являясь фильтром пространственных частот, улучшает однородность пучка.Для контроля выпуклых и плоских поверхностей применяются эталонные насадки, которые представляют собой объектив, последняя поверхность которого, являющаяся эталоном, концентрична его фокальной точке.Эталонная насадка устанавливается за коллимирующим объективом, а контролируемая поверхность устанавливается за эталонной насадкой таким образом, чтобы её центр кривизны совпадал с фокальной точкой эталонного объектива.
Для контроля плоских поверхностей в качестве эталона применяется клиновидная пластина, последняя поверхность которой является эталоном.Контролируемая и эталонная поверхности устанавливаются таким образом, чтобы обеспечить автоколлимационный ход лучей в интерферометре.В обратном ходе лучи, отраженные от эталона и контролируемой поверхности, возвращаются обратно через коллимирующий объектив и, отразившись от светоделителя, формируют интерференционную картину полос равной толщины в плоскости оптически сопряженной с плоскостью контролируемой поверхности.
