Вакуумный насос

Вакуумный насос

Вакуумный насос — это устройство, которое служит для удаления паров или газов до определённого уровня давления.

История развития вакуумной техники

1643 год можно считать началом научного этапа в развитии вакуумной техники. В этом году Торричелли смог впервые измерить атмосферное давление. Около 1650 года Отто фон Герике изобрел механический поршневой насос с водяным уплотнителем. Также изучалось поведение различных систем и живых организмов в вакууме.

Во второй половине XIX века человечество стало изобретать различную вакуумную технику и приборы. Такой прогресс связан с разработкой в 1862 году ртутно-поршневого насоса, а также потребностью в вакуумировании со стороны нарождающейся электроламповой промышленности. В этот период стали разрабатываться такие вакуумные насосы как вращательный (Геде, 1905), криосорбционный (Дж. Дьюар, 1906), молекулярный (Геде, 1912), диффузионный (Геде, 1913); манометры: компрессионный (Г. Мак-Леод, 1874), тепловой (М. Пирани, 1909), ионизационный (О. Бакли, 1916).

В СССР становление вакуумной техники началось с организации вакуумной лаборатории на ленинградском заводе «Светлана». Началось бурное развитие электроники и новых методов физики.

Принципы работы

Объёмные насосы осуществляют откачку за счёт периодического изменения объёма рабочей камеры. В основном они используются для получения предварительного разрежения. К ним относятся поршневые, жидкостно-кольцевые, ротационные (вращательные). Наибольшее распространение в вакуумной технике получили вращательные насосы.

К высоковакуумным механическим насосам относятся: пароструйные насосы (парортутные и паромасляные), турбомолекулярные насосы. Молекулярные насосы осуществляют откачку за счёт передачи молекулам газа количества движения от твёрдой, жидкой или парообразной быстродвижущейся поверхности. К ним относятся водоструйные, эжекторные, диффузионные молекулярные насосы с одинаковым направлением движения откачивающей поверхности и молекул газа и турбомолекулярные насосы с взаимно перпендикулярным движением твёрдых поверхностей и откачиваемого газа.